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介绍了一套自行研制的用于光瞳滤波实验的投影光刻实验系统，其物镜光瞳处预留出放滤波器的位置，可方便取放滤波器。在理论分析的基础上，开展了光刻对比实验研究，实验研究，实验研究结果表明光瞳滤波能大幅度提高投影光刻成像系统分辨力，并增大焦深，是一种比较有效地提高投影光刻成像质量的方法。
光瞳滤波投影光刻实验研究
【摘 要】
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介绍了一套自行研制的用于光瞳滤波实验的投影光刻实验系统，其物镜光瞳处预留出放滤波器的位置，可方便取放滤波器。在理论分析的基础上，开展了光刻对比实验研究，实验研究，实验研究
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 (6 9876 0 4 1)
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