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本发明涉及对碳纤维表面涂复碳化硅表面层的方法和专用装置。该专置即为改进了3射频聚焦式加热器：利用聚焦电磁场将纤维加热至1100℃～1300℃，并在石英管或反应器中制造一个氯硅烷和高纯氢气的反应环境，使氯硅烷裂解生成氯化氢的同时将碳化硅气相沉积在碳纤维表面，
碳纤维表面涂复碳化硅的工艺和装置
【摘 要】
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本发明涉及对碳纤维表面涂复碳化硅表面层的方法和专用装置。该专置即为改进了3射频聚焦式加热器：利用聚焦电磁场将纤维加热至1100℃～1300℃，并在石英管或反应器中制造一个氯硅
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2005年2期
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