【摘 要】
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采用有限元方法，对晶体结晶结束位置处的晶体内部热应力分布进行了数值模拟，结果表明：晶体在石英安瓿内壁附近，变径处以及头部尖端处的热应力较大，应力值约在10^8N／m^2数量级，晶体中
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采用有限元方法，对晶体结晶结束位置处的晶体内部热应力分布进行了数值模拟，结果表明：晶体在石英安瓿内壁附近，变径处以及头部尖端处的热应力较大，应力值约在10^8N／m^2数量级，晶体中部热应力分布较小且比较均匀，约为10^7N／m^2。为了防止晶体在生长过程中头部尖端处以及变径处的位错延伸至晶体内部，提出了在不同生长阶段采用不同下降速度，并且在晶体下降至变径处采用“回熔”操作的新工艺。实验结果表明：利用新工艺生长的晶体位错密度明显降低，约为2×10^2cm^-2，同时显著地提高了晶体的利用率。
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