【摘 要】
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随着集成电路工艺技术呈现日新月异的发展，集成电路工艺实践的教学需要通过现代化的课程设计、完善的教学内容，全面培养学生在集成电路工艺领域的实践能力。通过对集成电路工艺实验教学的课程目标、课程内容、教学环节、课程考核等多方面讨论，展开对集成电路工艺实践课程的研究与探索。以一个电容器的设计和制造贯穿整个课程，综合运用器件仿真软件、版图绘制软件、工艺制造设备、电学测量设备，构建完善连贯的实验流程，以期提升
【基金项目】
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南方科技大学本科教学质量及教学改革工程项目（XJJG202001）；
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随着集成电路工艺技术呈现日新月异的发展，集成电路工艺实践的教学需要通过现代化的课程设计、完善的教学内容，全面培养学生在集成电路工艺领域的实践能力。通过对集成电路工艺实验教学的课程目标、课程内容、教学环节、课程考核等多方面讨论，展开对集成电路工艺实践课程的研究与探索。以一个电容器的设计和制造贯穿整个课程，综合运用器件仿真软件、版图绘制软件、工艺制造设备、电学测量设备，构建完善连贯的实验流程，以期提升学生利用已有知识解决实际问题的能力。
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