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为探索微小间隙火花放电的伺服控制特性，利用高速示波器和非接触式电涡流位移传感器，采用门槛电压阈值控制方法，实验研究了微小间隙火花放电规律与主轴伺服运动特性之间的关系，得出了主轴频响和运动速度对放电率的影响规律。并利用频响达200Hz的直线电机主轴，验证了高频响主轴伺服控制微小放电间隙的优越性。研究发现：开短路交替频率、主轴跳动幅值、开短路率大小及比例可作为放电效果的评价指标；深度效应将造成一个特定深度的加工状态破坏点。这些结果为优化主轴机构和伺服控制策略提供了依据。