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Si（Li）探测器类的X射线能谱仪已广泛地应用于电子探针和扫描电镜的分析领域，据不完全统计，我国大约有500多台X射线能谱仪与电子探针或扫描电镜（包括透视电子显微镜）联用，已成为最为主要的微区元素分析的工具，发挥了重要的作用。但也存在着分析结果上的明显缺陷，严重地影响定量分析的质量，并导致许多不应有的研究成果谬误的发生，甚至在一些科技文献中常见到这些错误的数据。《电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则》（GB／T17359-1998）国家标准的制定，集国内外分析技术专家在这一领域的理论和实践经验，对X射