热处理工艺对合金薄膜电阻及其稳定性的影响

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【摘要】

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利用离子束溅射镀膜技术,在17-4PH不锈钢弹性衬底上直接溅射SiO2绝缘膜和NiCr薄膜,制备了一种新型的压力传感器用合金薄膜.分析了热处理工艺对合金薄膜电阻稳定性的影响,对Ni

【作者】

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彭银桥甘元驹

【机构】

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湛江海洋大学信息学院

【出处】

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传感器技术

【发表日期】

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2005年7期

【关键词】

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薄膜合金电阻压力传感器热处理稳定性 thin film alloy resistance pressure sensors heat treatmen

【基金项目】

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国家自然科学基金

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利用离子束溅射镀膜技术,在17-4PH不锈钢弹性衬底上直接溅射SiO2绝缘膜和NiCr薄膜,制备了一种新型的压力传感器用合金薄膜.分析了热处理工艺对合金薄膜电阻稳定性的影响,对NiCr薄膜电阻进行了4种热处理工艺,获得了使合金薄膜电阻长期稳定的热处理工艺参数:在SiOx和N2的保护下,673K退火1h,并在473K下保温24h.用该工艺能制备适应各种恶劣环境的高精度压力传感器.

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