【摘 要】
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提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体.研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范
【机 构】
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华东师范大学信息学院,上海200241
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提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体.研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3 ～ 2.6GHz,输出功率范围为20 ～ 40dBm.在频率为2477MHz、空气真空度为3.7 Torr,输入功率为2.15W时,平面微带渐变螺旋电感耦合线圈能较好激励起微波微等离子体,这为微波微等离子体源的小型化研究提供了基础.
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