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随着近年来我国半导体产业的持续繁荣发展，中国已成为全球半导体制造增长最为迅速的市场。为有效控制监管半导体生产过程中大量使用的各种有机溶剂所产生的废气中可挥发性有机物(VOC)的排放，加强行业污染控制，规范行业环境保护管理工作，对制订半导体行业VOC排放标准进行了研究。概述了半导体行业VOC排放的特点。分析了该行业对VOC排放的治理技术。阐述了美国和中国台湾地区有关半导体行业VOC废气的排放标准。从国内半导体企业VOC治理现状、现有监测技术、‘VOC排放管理方式等方面探讨了我国半导体行业VOC废气排放标准的制定思路。