【摘 要】
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一种紫外光/臭氧表面清洁仪已经研制成功。这种仪器操作简单,可以在窒温下、大气中进行干法清洁,装备这种仪器的费用低廉。俄歇电子能谱分析议和X射线光电子能谱分析仪的分析
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所
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一种紫外光/臭氧表面清洁仪已经研制成功。这种仪器操作简单,可以在窒温下、大气中进行干法清洁,装备这种仪器的费用低廉。俄歇电子能谱分析议和X射线光电子能谱分析仪的分析结果表明,紫外光/臭氧清洁是一种去除吸附在物体表面上的碳和各种碳氢化合物污染的有效方法。本文介绍紫外光/臭氧清洁方法的工作机理、实际装置、几种典型材料的处理结果、应用范围以及一些应用实例。
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