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本文介绍了近年微电子薄膜-基底组件的几个力学问题:连接件边界及端部的应力集中和应力奇异性;不同薄膜-基底和界面的组合与相应的破坏模式和力学分析,薄膜与界面的力学参量的测试方法,文末提出了薄膜-基底组件的几个需要进一步研究的力学问题.
薄膜-基底的几个力学问题
【摘 要】
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本文介绍了近年微电子薄膜-基底组件的几个力学问题:连接件边界及端部的应力集中和应力奇异性;不同薄膜-基底和界面的组合与相应的破坏模式和力学分析,薄膜与界面的力学参量
【机 构】
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清华大学北京,100084
【出 处】
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力学与实践
【发表日期】
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1993年04期
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