【摘 要】
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测量系统分析（简称：MSA）是使用数理统计和图表对测量系统的分辨率和误差进行分析的一种方法，以评估测量系统的分辨率和误差对于被测量的参数来说是否合适，并确定测量系统误差的主
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测量系统分析（简称：MSA）是使用数理统计和图表对测量系统的分辨率和误差进行分析的一种方法，以评估测量系统的分辨率和误差对于被测量的参数来说是否合适，并确定测量系统误差的主要因素。以晶圆级测试数据为例，将MSA运用到集成电路测试行业中，使用MINITAB16对某多site测试数据进行分析，选用量具R＆R研究（交叉）方法，通过测量系统重复性和再现性研究两个J750机台是否存在差异，确定主要误差来源。MSA为验证测量系统的稳定性，不同site间的一致性，为保证集成电路产品质量和可靠性提供了一种有效的数字化手段
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