【摘 要】
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本文提出了一种在微细加工设备中,既能用于低、高真空密封,也可用于超高真空密封的聚四氟乙烯密封圈结构。介绍了这种密封圈的密封原理、结构、特点和试验情况。试验证明,这
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本文提出了一种在微细加工设备中,既能用于低、高真空密封,也可用于超高真空密封的聚四氟乙烯密封圈结构。介绍了这种密封圈的密封原理、结构、特点和试验情况。试验证明,这种密封圈具有结构简单,密封性好,使用方便,安全可靠等优点。
In this paper, we propose a polytetrafluoroethylene (PTFE) sealing ring structure that can be used for both low and high vacuum sealing and ultra-high vacuum sealing in microfabrication equipment. The sealing principle, structure, characteristics and test conditions of this sealing ring are introduced. Test proved that this seal has the advantages of simple structure, good sealing, easy to use, safe and reliable.
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