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微型片上生物工厂能够快速分析少量粒子,是应用于医学、生物细胞诊断学、化合物检测以及水质控制等领域的集成系统.这种装置利用粒子的介电特性,采用双向电泳的直流电动力现象、行波双向电泳以及电转动对微粒进行处理、分离和定性.生物工厂的制造应用了传统的光刻技术和以微机械为基础的精密的准分子激光刻蚀技术.由于这两种技术的组合应用出现了许多制作技术问题,本文将对此进行讨论.例如,用激光切削光刻电极之间的电路通孔实现多层电极之间的牢固连接.另外,用准分子激光加工技术可以消除粒子阻滞问题,从而可使样品在交叉弯曲处平滑运动,