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提出了一种工作在扭转模态的微机械谐振器,与传统的弯曲模态相比,扭转模态能量损耗低,更适用于液相检测。通过ANSYS仿真优化了结构,针对液相中阻尼较大的特点设计可输出大电流的驱动电路,并根据扭摆的输出与速度相关的特点设计了能量补偿电路,此电路可对能量损失进行有效的补偿,扭摆在液相中的品质因数由2.65提高到了40。