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低温等离子体技术是一种集化学、物理学、生物学于一体的高级新型氧化技术,由于它具有极强的氧化能力及对环境友好等优点,被定义为当今最具有前景的高级氧化技术之一。介绍了几种不同的等离子体激发形式,并重点分析了输入能量、放电气体、初始浓度等多种因素对等离子体作用的影响。最后展望了该技术的未来发展方向。