【摘 要】
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随着我国国民经济的发展和高科技产业的腾飞,微电子、半导体、液晶等精密电子的生产制造如雨后春笋般大量涌现。无尘室的保护成为这一产业的重点和难点。1高火险度及高昂的代
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随着我国国民经济的发展和高科技产业的腾飞,微电子、半导体、液晶等精密电子的生产制造如雨后春笋般大量涌现。无尘室的保护成为这一产业的重点和难点。1高火险度及高昂的代价保护无尘室远离火灾威胁需要考虑诸多因素:①这里有高价值的设备;②生产过程具有极高的价值,对破坏性
With the development of our national economy and the take-off of high-tech industries, the production of precision electronics such as microelectronics, semiconductors and liquid crystals has sprung up. Clean room protection has become the focus of this industry and difficulties. 1 high risk insurance and high price protection Clean room away from the threat of fire need to consider many factors: ① There are high-value equipment; ② the production process has a high value, destructive
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