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ISS9010型蓝宝石晶体生长炉的研制
ISS9010型蓝宝石晶体生长炉的研制
来源 :科技致富向导 | 被引量 : 0次 | 上传用户:deepseaxing2
【摘 要】
:
本文主要介绍一种采用独特的LSG工艺技术生长大尺寸高质量蓝宝石晶体的新型设备的设计思路以及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构和特点。
【作 者】
:
张国华
【机 构】
:
上海昀丰新能源科技有限公司
【出 处】
:
科技致富向导
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
蓝宝石
KY泡生法
晶体生长炉
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本文主要介绍一种采用独特的LSG工艺技术生长大尺寸高质量蓝宝石晶体的新型设备的设计思路以及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构和特点。
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