大面积高精度快速3D测试中莫尔技术的应用探索

来源 :半导体光电 | 被引量 : 6次 | 上传用户:frog1266
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设计了一种全新的投影莫尔三维轮廓投影成像测试系统。去除了传统机械式相移结构 ,首次利用计算机实时控制变光源相移技术 ,大大提高了系统测试速度。创造性地采用垂直投影 ,双CCD倾斜成像机构 ,提高了光场的均匀性和可测物范围。该系统具有测试速度快 (全场测量 :4~ 8s)、测量面积大 (最大可为 30 0mm× 30 0mm)、光强照明均匀等优点 ,系统测量精度可达4 0 μm。详细分析了系统关键技术 ,并给出了具体实验结果。结果表明系统的设计原理是成功的 ,为大面积物体三维轮廓快速高精度测量提供了一
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