论文部分内容阅读
以北京天瑞星公司生产的大型TX1 800商用磁控溅射镀膜机为例,分析了磁控溅射镀膜机靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在高温下气化蒸发带走基材热量,达到材料降温的目的。通过层板间的特殊结构实现对流体流量、流速等的控制,实现预想的冷却效果。
TX1 800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进
【摘 要】
：
以北京天瑞星公司生产的大型TX1 800商用磁控溅射镀膜机为例,分析了磁控溅射镀膜机靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在高温下气化蒸发带走
【机 构】
：
北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,中国运载火箭技术研究院五一九厂
【出 处】
：
真空
【发表日期】
：
2012年3期
其他文献
名记者是新闻队伍中的翘楚,是新闻媒体的品牌。在中外新闻事业的发展历程中,涌现出了一批批优秀的名记者。以中国杰出新闻记者范长江为切入点,从新闻与传播方面及新闻专业主
一、国有企业改制财务审计的内容及披露（一）国有企业改制财务审计的内容根据《企业公司制改建有关国有资本管理与财务处理的暂行规定》（财企[2002]313号）规定：改建企业应当对各类
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
本文运用文献资料法、数据统计法、访谈等方法对体育教学中采用信息化教学方法、手段对学生体育学习兴趣所产生的效果进行了调查,发现在学校体育课堂中,采用多媒体信息技术进
自主学习作为当今教育研究的一个重要课题，越来越受到教育界的关注。我国新一轮基础教育课程改革强调要“改变课程过于注重知识传授的倾向，强调形成积极主动的学习态度”。联合
本文阐述了英语歧义现象的原因及分类,介绍了合作原则与广告语篇的歧义现象,探讨了如何避免英语歧义和积极利用英语歧义进行广告宣传的方法。指出,对于无意歧义,语言使用者应
通过极区极光椭圆区的极轨轨道是特殊的低轨轨道,在该轨道环境中既有低温、稠密的背景等离子体,又有高能极光电子的注入,因此当背景离子密度减小或极光电子通量增加时,通过极