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<正>日本三菱电机株式会社研发了一个固体紫外线激光发射器,产生波长为213 nm的紫外脉冲,平均功率10 W。这一紫外线激光发射器的构造如图1所示,基本单元主要为高功率、高聚光的半导体固体激光发射器,发射出波长为1 064 nm的红外线:红外线经过由高品质非线性光学结晶体组成的波长转换单元,最终产生213 nm波长紫外线。