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氮化镓作为第三代半导体的代表,具有优越的电学性能。氮化镓的合成制备,对全球半导体产业的发展具有重要意义,目前已经成为世界的研究热点。本文对氮化镓薄膜以及纳米氮化镓的合成制备方法进行了综述,并对各种合成方法的优缺点以及氮化镓的应用前景作了简要分析。
氮化镓的合成制备及前景分析
【摘 要】
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氮化镓作为第三代半导体的代表,具有优越的电学性能。氮化镓的合成制备,对全球半导体产业的发展具有重要意义,目前已经成为世界的研究热点。本文对氮化镓薄膜以及纳米氮化镓
【机 构】
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温州大学瓯江学院; 温州大学;
【出 处】
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辽宁化工
【发表日期】
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2011年11期
【基金项目】
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浙江省大学生科技创新项目(新苗人才计划),项目号:2010R424028,基金编号:31218589
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