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研究了溅射Ti/Al/Ti/Au四层复合金属与AlGaN/GaN的欧姆接触特性，并就环境温度对欧姆接触特性的影响进行了分析研究。试验证明：溅射的Ti/Al/Au与载流子浓度为2.24×10^18cm^-3的AlGaN之间在室温下无需退火即可形成欧姆接触。随快速退火温度的升高接触电阻降低。快速退火时间30s已可实现该温度下最佳欧姆接触。当工作温度不高于300℃时接触电阻几乎不受温度的影响。