【摘 要】
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化学沉积可得到均匀、致密的纳米晶薄膜,是一种较为理想的纳米晶制备方法.采用正交实验优化了化学沉积纳米晶钴磷合金的工艺配方,研究了正交实验5因素如硫酸钴、柠檬酸三钠、
【机 构】
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合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥工业大学材料科学与工程学院,中国科学院固体物理研究所
【基金项目】
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安徽省自然科学基金，合肥工业大学校科研和教改项目
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化学沉积可得到均匀、致密的纳米晶薄膜,是一种较为理想的纳米晶制备方法.采用正交实验优化了化学沉积纳米晶钴磷合金的工艺配方,研究了正交实验5因素如硫酸钴、柠檬酸三钠、硼酸、次磷酸钠和温度及负载因子、沉积时间对沉积速度的影响.研究获得的优化工艺配方和参数为:0.06～0.12 mol/L CoSO4·7H2O,0.40～0.55 mol/L NaH2PO2·H2O,0.15～0.3 mol/L Na3C6H5O7·2H2O,0.3～0.6 mol/L H3BO3,50～80 ℃,
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