用IR及XPS研究Photo—CVD SiO2薄膜特性

来源 :华南理工大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：kobiko

【摘要】

：

在低温下采用以低压Xe气激发真空紫外光作光源,以SiH4和O2作为反应气体的直接光CVD技术在硅衬底上成功地淀积出SiO2薄膜.用红外光谱分析发现,薄膜中未出现与Si-H、Si-OH相应

【作者】

：

刘玉荣李观启黄美浅

【机构】

：

华南理工大学应用物理系

【出处】

：

华南理工大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

光CVD SIO2薄膜红外光谱 XPS C-V特性 photo-CVD SiO2 thin-film FTIR XPS C-V characteri

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

在低温下采用以低压Xe气激发真空紫外光作光源,以SiH4和O2作为反应气体的直接光CVD技术在硅衬底上成功地淀积出SiO2薄膜.用红外光谱分析发现,薄膜中未出现与Si-H、Si-OH相应的红外吸收峰,Si-O伸缩振动所对应的吸收峰峰位在1 054～1 069 cm-1之间;通过高频C-V特性曲线计算出SiO2-Si系统中固定氧化物电荷密度在2×1010～3×10 11cm-2范围内;XPS分析表明,SiO2薄膜中Si的2p能级结合能为103.6 eV,界面处亚氧化硅的总含量为每平方厘米

其他文献

管架式轿车车身碰撞仿真分析

通过对自主设计的管架式轿车车身建模,利用非线性CAE(计算机辅助工程)工具对车身正面碰撞过程进行了仿真分析,得出了变形和主要碰撞参数的时间特性,并根据仿真结果对管架结构

期刊

轿车车身管架结构碰撞仿真碰撞安全法规车身变形骨架优化car body tubular frame crash simulation

第10届中国临床肿瘤学会学术年会纪要

第10届中国临床肿瘤学会（Chinese Society of Clinical Oncology, CSCO）学术年会于2007年9月19日至23日在哈尔滨市举行，大会主题为“积极实践肿瘤的规范化多学科综合治疗”．会议

期刊

中国临床肿瘤学会会议肿瘤治疗中药Chinese Society of Clinical Oncology conferences neoplasm

基于Windows CE的便携式售票机的开发

Windows CE是一个简洁的,高效率的多平台操作系统,它的模块化设计允许它对从掌上电脑到专用的工业控制器的用户电子设备进行定制.本文介绍了Windows SCE嵌入式操作系统的特点

期刊

便携式售票机WindowsCE嵌入式操作系统模块化设计定制掌上电脑工业控制器embedded operating system Windows

一种新颖的视网膜血管形态识别相关网点法

利用人体生物特征的视网膜血管进行个人身份鉴别的研究,提出了一种高层次保安识别应用的相关网点法,包括方法的构思、视网膜血管图像特征交点的提取、网点质心和最远网点的水

期刊

人体生物特征视网膜血管形态识别身体鉴别相关网点法图像识别图像提取human biologic characteristicretinal blo

系统可靠性的多目标优化计算

由于多目标优化问题存在多个最优解集合，而传统的方法往往将其转化为各目标之加权和，然后采用单目标优化技术，这种方法存在诸多缺点和脆弱性，作为一种并行算法，遗传算法能很好地解

期刊

可靠性多目标优化遗传算法敏感性分析reliability multi-objective optimization geneti c algorit

用IR及XPS研究Photo—CVD SiO2薄膜特性

其他学术论文