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用透射电镜(TEM)观察了采用直流磁控溅射法制备厚度在1.5 nm~67 nm之间的半连续Ag膜的形貌。对TEM显微图像,提出了利用小波变换消除显微图像中的低阶趋势项,然后用多重分形谱来定量表征不同厚度半连续Ag膜的复杂微结构特征。结果显示,多重分形谱的宽度(Δα)、顶点位置都会随着膜的厚度变化有规律地变化。这种方法表征了不同条件下薄膜的形成机理,为探索薄膜微结构的制备条件提供了重要的理论依据。