论文部分内容阅读
分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。
光刻设备中硅片预对准的算法模型分析
【摘 要】
：
分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。
【机 构】
：
上海微高精密机械工程有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2011年9期
其他文献
通过调研国外包括碳酸盐岩、致密砂岩和页岩等油藏提高采收率对完井工艺技术的优化研究,对以Middle Bakken,Cleveland,Granite Wash,Barnett Shale等为代表的不同油藏类型区
有一个人经常玩扑克牌，而且变着花样玩。一天，他摆出做了标记的3张扑克（如图），扑克正反两面分别被标记了“√”或“×”。 他说他可以把这3张扑克给任何人，在不让他看到的情况下选出一张放在桌上，朝上的是正面或反面都没有关系，只要他看到了朝上那面后，就能猜出朝下的那面有什么标记。如果猜对了，对方给他100元，猜错了，他就给对方200元。 标记了“√”和标记了“×”的扑克牌各占总数的一半，也没有其他任
汤姆虽然才12岁，但对数学有极高的悟性。 有一天，他向爸爸夸口道：“用0到9这10个数字，你随便写两个数，只要每个数字都用到而且不重复就可以。再把这两个数相加得到结果，然后将加数擦掉，最后把得数中任意一个数字也擦掉。我不知道你都写了些什么数，但只要看一眼最后的结果，我就知道你最后擦掉的那个数是多少。” 他爸爸不相信，于是用0到9这10个数字写了一个6位数和一个4位数，将它们相加后得出结果，再把
中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称＂中微＂）自主研发制造的MOCVD设备Prismo D-Blue,是在国内几十家设备公司和研究所为开发MOCVD设备所做的多年努力中,唯一一个成功进入多个生