【摘 要】
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利用高真空直流磁控溅射仪,在玻璃衬底上制备了结构为＂Glass/Ta（6nm）/NiFe（6nm）/CoFe（1nm）/Cu（3nm）/CoFe（t nm）/IrMn（11nm）/Ta（6nm）＂的自旋阀.研究了被钉扎层CoFe的厚度t对自旋阀磁性能的影响
【机 构】
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兰州大学物理科学与技术学院,甘肃省科学院传感技术研究所
【基金项目】
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甘肃省科学院青年科技创新基金项目计划（2012QN-07）, 甘肃省科学院应用研究与开发计划（2013JK-01）,甘肃省科学院应用研究与开发计划（2013JK-02）
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利用高真空直流磁控溅射仪,在玻璃衬底上制备了结构为＂Glass/Ta（6nm）/NiFe（6nm）/CoFe（1nm）/Cu（3nm）/CoFe（t nm）/IrMn（11nm）/Ta（6nm）＂的自旋阀.研究了被钉扎层CoFe的厚度t对自旋阀磁性能的影响,当t为7.5nm时自旋阀主要性能达到最佳,并且在外加磁场4 000Oe下,270℃保温3h退火处理后,自旋阀的GMR值进一步达到5.5%,自由层矫顽力为3Oe,交换偏置场为130Oe.通过以上的优化方案,可以研制出高磁电阻率、低矫顽力和大交换偏置场的自
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