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以酸值(KOH)为190 mg/g的环烷酸为原料与多亚乙基多胺反应合成了环烷基咪唑啉中间体,再用硫酸二乙酯对该中间体进行季铵化,制得了水溶性的环烷基咪唑啉季铵盐缓蚀剂.较佳合成条件为:第一步,环烷酸/二乙烯三胺(摩尔比)=1:(1.2～1.4),催化剂H3BO3用量为环烷酸用量的0.3%～0.5%,室温～240℃阶梯升温方式;第二步,中间体/硫酸二乙酯(摩尔比)=1:(1.4～1.6),以异丙醇为溶剂,反应温度50℃,反应时间2 h.用失重法测出在1.000 g/L HCl+1.000 g/L H2S腐蚀