【摘 要】
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研究了氧掺杂对a-Si:H光诱导Staebler-Wronski效应的影响(随着掺氧量的增加,光诱导效应减弱)。在掺氧的a-si:H中,红外吸收光谱显示出氧原子主要作为氢原子附近的弱Si-Si键的
【机 构】
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中国科学院上海冶金所,中国科学院上海冶金所,中国科学院上海冶金所,中国科学院上海冶金所,中国科学院上海冶金所
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研究了氧掺杂对a-Si:H光诱导Staebler-Wronski效应的影响(随着掺氧量的增加,光诱导效应减弱)。在掺氧的a-si:H中,红外吸收光谱显示出氧原子主要作为氢原子附近的弱Si-Si键的桥键原子。吸收系数和光子能量的关系表明有Urbach吸收边存在,且微量氧将使a-Si:H网络的无序度降低。同时,光照大大促进桥键氧原子的耦合,弱Si-Si键被打断。因此,掺氧的a-Si:H膜的Staebler-Wronski效应减弱是由于微量氧原子稳定了弱Si-Si键的缘故。
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