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介绍了使用原子力显微镜在电场作用下诱导表面局部阳极氧化反应的机理，分析了偏置电压、氧化物厚度对氧化物生长速度的影响，以及湿度和电压对氧化物的尺寸的影响，指出了现阶段AFM纳米加工技术的不足，并对未来的AFM纳米加工技术进行了展望。
原子力显微镜阳极氧化加工的机理研究
【摘 要】
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介绍了使用原子力显微镜在电场作用下诱导表面局部阳极氧化反应的机理，分析了偏置电压、氧化物厚度对氧化物生长速度的影响，以及湿度和电压对氧化物的尺寸的影响，指出了现阶段AF
【机 构】
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浙江工业职业技术学院
【出 处】
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机床与液压
【发表日期】
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2008年1期
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