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<正> 2.4 静电加速管这是使从离子源出来的离子获得足够能量的装置。在离子注入机中均采用直线型的压降加速。能量较低时,采用一段加速,能量较高时,可以采用二段或多段加速以保证得到聚焦性能良好的离子束。
离子注入原理和应用(二)
【摘 要】
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<正> 2.4 静电加速管这是使从离子源出来的离子获得足够能量的装置。在离子注入机中均采用直线型的压降加速。能量较低时,采用一段加速,能量较高时,可以采用二段或多段加速以
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1974年04期
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