【摘 要】
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工作在模态匹配情况下的全对称结构成为了高性能MEMS陀螺的重要技术实现方案.在全对称结构中,环形陀螺具有对称性好、可以工作在全角模式下的优势,但是其缺点在于电容量小、等效敏感质量轻.针对这一现状,设计了一种内嵌梳齿电容的全对称八质量MEMS陀螺,该陀螺也具有2θ或3θ 工作模式,且可以通过质量块之间的运动及科氏力的耦合实现运动状态的进动.谐振子版图尺寸5.5 mm×5.5 mm,谐振频率20 kHz.结构具有4.83 mg的等效敏感质量,是同等多环结构等效质量的三倍.该结构具有敏感质量大、电容量大的优势,
【机 构】
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南京理工大学 机械学院,南京 210094
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工作在模态匹配情况下的全对称结构成为了高性能MEMS陀螺的重要技术实现方案.在全对称结构中,环形陀螺具有对称性好、可以工作在全角模式下的优势,但是其缺点在于电容量小、等效敏感质量轻.针对这一现状,设计了一种内嵌梳齿电容的全对称八质量MEMS陀螺,该陀螺也具有2θ或3θ 工作模式,且可以通过质量块之间的运动及科氏力的耦合实现运动状态的进动.谐振子版图尺寸5.5 mm×5.5 mm,谐振频率20 kHz.结构具有4.83 mg的等效敏感质量,是同等多环结构等效质量的三倍.该结构具有敏感质量大、电容量大的优势,有希望成为下一代高性能、轻小型、快速响应陀螺.
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