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<正> ИТ-172不等臂激光球面干涉仪可用于精密检验大型光学零件的面形质量和光学系统的象差。这些工作都是通过测量由被检零件表面反射的、或由被检系统出射的波面与理想球面波的偏差来实现的。其光学系统如下图所示。
NT-172不等臂激光球面干涉仪光学零件的制造和装校公差分析
【摘 要】
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<正> ИТ-172不等臂激光球面干涉仪可用于精密检验大型光学零件的面形质量和光学系统的象差。这些工作都是通过测量由被检零件表面反射的、或由被检系统出射的波面与理想球
【出 处】
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光学工艺
【发表日期】
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1978年03期
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