氩离子辅助轰击对激光烧蚀法制备非晶碳膜的影响

来源 :湘潭大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hotter_day

【摘要】

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离子辅助轰击能有效改善非晶碳(a-C)膜的质量.用脉冲激光(532 nm, 3.5×108 W/c m2)烧蚀石墨靶,同时用Ar+轰击膜面,在Si(100)衬底上沉积a-C膜.用扫描电镜和喇曼光谱对膜

【作者】

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郭建杨益民

【机构】

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湘潭大学物理系

【出处】

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湘潭大学自然科学学报

【发表日期】

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2002年2期

【关键词】

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氩离子辅助轰击激光烧蚀法非晶碳膜 Ion-assisted bombardment Amorphous carbon Laser ablation

【基金项目】

：

湖南省教育厅科研项目

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离子辅助轰击能有效改善非晶碳(a-C)膜的质量.用脉冲激光(532 nm, 3.5×108 W/c m2)烧蚀石墨靶,同时用Ar+轰击膜面,在Si(100)衬底上沉积a-C膜.用扫描电镜和喇曼光谱对膜结构作了分析.结果表明:在较低气压和较高的射频功率下制备的a-C膜质量较好,同时,激光重复频率对膜生长也有显著影响.

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