双四象限探测器位置自适应测量新模型

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为了得到最佳的动态跟踪性能,提出了最小二乘向量机与矩阵光学相结合的建模方法,建立了双四象限探测器在激光跟踪光路中的全新测量模型,该模型可实现对探测器参数的自适应测量.相对于以往的数学模型和测量方法,该模型具有清晰的物理含义,更符合研究对象的工作机理.使用该模型可获得更完整的测量样本,消除了测量中的“死点”和“坏点”,对位移量测量的不确定度为1μm,最大误差在原研究基础上减小了3μm,系统也省去了多维高精度的测量和机械调整系统.这一模型同时为三维小角度测量提供了一个快捷的技术途径.
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