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近年来,SiOx(x≤2)基电致发光材料发展迅速.着重讨论了5种具有实用潜力Si基LED包括离子掺杂、Si-nc嵌SiO2、多孔硅、a-Si(C):H以及MOS结构,并对其电致发光机理以及存在的问题如量子效率低、稳定性差进行了分析,认为电致发光原子SiOx(x≤2)中发光中心和界面缺陷处载流子的辐射复合.在激子碰撞和电子空穴复合发光体系中,提高载流子的平衡注入能够显著提高量子效率.在对比SiOx(x≤2)基LED研究的基础上,对下一步发展提出了建议.