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用测量显微镜测量圆柱体直径产生的误差
用测量显微镜测量圆柱体直径产生的误差
来源 :国外计量 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ericlin1985
【摘 要】
:
<正> 一、绪言用测量显微镜测量圆柱体工件的形状时,尽管测量显微镜为远心光学系统所构成,但由于照明光束的影响,也会产生半影,使物体的几何边缘和光学边缘不一致而产生误差
【作 者】
:
棚瀬峰晴
董来旺
【出 处】
:
国外计量
【发表日期】
:
1980年02期
【关键词】
:
圆柱体试件
实验式
光圈值
浓度分布
直径偏差
测量显微镜
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<正> 一、绪言用测量显微镜测量圆柱体工件的形状时,尽管测量显微镜为远心光学系统所构成,但由于照明光束的影响,也会产生半影,使物体的几何边缘和光学边缘不一致而产生误差。在文献[1]中,用圆柱面和透过光的衍射现象说明
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