MOD法在种子层/Ni-W上制备La0.4Sr0.6TiO3薄膜的研究

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【摘要】

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采用金属有机沉积法(MOD)在双轴织构的Ni-5%(原子分数)W基带上制备了SrTiO3种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜.SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致.通

【作者】

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罗清威王雪李风华冉阿倩李英楠樊占国

【机构】

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东北大学材料与冶金学院

【出处】

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功能材料

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

SrTiO3种子层 La0.4Sr0.6TiO3缓冲层热处理取向

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采用金属有机沉积法(MOD)在双轴织构的Ni-5%(原子分数)W基带上制备了SrTiO3种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜.SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致.通过XRD和SEM研究了不同热处理温度对La0.4Sr0.6TiO3薄膜取向和微观形貌的影响,结果显示,在Ar-4%H2气氛下于950℃制备的薄膜取向良好,表面光滑致密,无裂纹和孔洞出现.

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