论文部分内容阅读
采用非平衡磁控溅射技术在45钢片和单晶硅片上制备出自润滑碳／铬复合镀层；采用X射线光电子能谱仪检测镀层化学成分，用X射线衍射仪分析镀层相结构，用扫描电子显微镜和透射电子显微镜观察镀层显微结构，用销-盘式摩擦磨损试验机研究镀层自润滑性能。结果表明：镀层相结构为非晶态，主要由碳和铬两种单质及其化合物组成；铬靶电流影响镀层显微结构，随着电流增加，镀层表面变得粗糙，颗粒间结合越来越紧密，镀层摩擦因数增大；铬靶电流为0．1A和0．3A时镀层有大量石墨相存在，具有良好的自润滑性能和承载能力。