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主要介绍利用silvaco软件对集成门集换流晶闸管IGCT（Inregrated Gate Commutated Thyrister）进行工艺模拟。利用siavaco软件中的Athena对IGCT进行建模，并对工艺参数进行提取和优化，从而达到工艺要求。
集成门极换流晶闸管的工艺模拟
【摘 要】
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主要介绍利用silvaco软件对集成门集换流晶闸管IGCT（Inregrated Gate Commutated Thyrister）进行工艺模拟。利用siavaco软件中的Athena对IGCT进行建模，并对工艺参数进行提取和优
【机 构】
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辽宁广播电视大学
【出 处】
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大众科技
【发表日期】
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2010年4期
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