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在高频直流脉冲放电的条件下 ,对低气压放电过程中存在的弧光放电的发展过程进行了研究 ,揭示了脉冲放电频率的提高对抑制弧光放电的发展是有效的 ,而快速的弧光放电检测和保护电路是不可缺少的 .为一种新型等离子体高频激励电源的研制提供了有效的依据
低气压放电中的弧光放电发展及其抑制方法
【摘 要】
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在高频直流脉冲放电的条件下 ,对低气压放电过程中存在的弧光放电的发展过程进行了研究 ,揭示了脉冲放电频率的提高对抑制弧光放电的发展是有效的 ,而快速的弧光放电检测和保
【机 构】
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中南民族学院电子工程系
【出 处】
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中南民族学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2001年01期
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