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结合集成电路制造工艺仿真系统TSUPREM的发展历史,回顾了集成电路工艺仿真技术的发展,并着重介绍了Avanti公司的深亚微米工艺仿真系统TSUPREM-4 1999.4.
深亚微米集成电路制造工艺设计与仿真系统TSUPREM发展与现状
【摘 要】
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结合集成电路制造工艺仿真系统TSUPREM的发展历史,回顾了集成电路工艺仿真技术的发展,并着重介绍了Avanti公司的深亚微米工艺仿真系统TSUPREM-4 1999.4.
【机 构】
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山东大学南校区电子工程系,山东大学学术交流中心,山东省烟草局信息科研中心,北京大学电子学系
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2001年4期
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