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聚焦离子束（FIB）制备传统截面TEM样品已有非常成熟的流程,然而在原位加热芯片上制备高质量的TEM样品仍困扰着广大从事原位实验的研究者。本文以Si为例,运用一个普通45°斜面样品台和一台标准52°侧翻的FIB,通过精确的角度计算,发展了一种在原位加热芯片上快速制备出高质量TEM样品的方法。
基于加热芯片的原位透射电镜样品的制备方法
【摘 要】
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聚焦离子束（FIB）制备传统截面TEM样品已有非常成熟的流程,然而在原位加热芯片上制备高质量的TEM样品仍困扰着广大从事原位实验的研究者。本文以Si为例,运用一个普通45°斜
【机 构】
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浙江大学电镜中心
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2015年6期
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