【摘 要】
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为了降低多周期高反射膜空间解复用器的制备工艺难度,根据'超棱镜'效应的多层薄膜空间解复用器的设计方法,提出了一种制备工艺简单的多层薄膜结构.通过增加周期中单
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为了降低多周期高反射膜空间解复用器的制备工艺难度,根据'超棱镜'效应的多层薄膜空间解复用器的设计方法,提出了一种制备工艺简单的多层薄膜结构.通过增加周期中单层膜的级次来减少整个高反射膜系的周期数.所设计的高级次反射膜结构为10(9H9L)9H,对设计的膜系进行了数值模拟计算,并和相同总物理厚度的一级次高反射膜系进行了比较.计算结果表明,该设计方法明显降低了对制备工艺的要求,并具有大的空间色散和实际制备意义.
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