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降低栅掺杂和超浅结的制程可变性
降低栅掺杂和超浅结的制程可变性
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ZHANGYJ000
【摘 要】
:
随着器件尺寸的缩小。离子注入和退火等制程的可变性开始引起器件阈值电压的显著变化。对此。器件制造商有两个选择:要么围绕可变性来设计制程,要么改变制程设备。本文将探讨在
【作 者】
:
John Ogawa Bodand
【机 构】
:
J.O.B.Technologies
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
制程设备
可变性
超浅结
掺杂
器件尺寸
阈值电压
离子注入
逻辑器件
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随着器件尺寸的缩小。离子注入和退火等制程的可变性开始引起器件阈值电压的显著变化。对此。器件制造商有两个选择:要么围绕可变性来设计制程,要么改变制程设备。本文将探讨在65至32nm节点下DRAM与逻辑器件的各种可选择方案。
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