【摘 要】
：
采用微波等离子镀膜机制备镍薄膜。该方法的特点是用纯金属镍为靶,用微波产生等离子体,用交流电源作为轰击电源,远程输运。使用XRD、SEM、EDS对采用微波等离子法沉积的薄膜进
【机 构】
：
青岛科技大学材料科学与工程学院,青岛环友等离子技术研究所,
论文部分内容阅读
采用微波等离子镀膜机制备镍薄膜。该方法的特点是用纯金属镍为靶,用微波产生等离子体,用交流电源作为轰击电源,远程输运。使用XRD、SEM、EDS对采用微波等离子法沉积的薄膜进行表征,对实验结果进行分析,并对镀膜工艺进行了初步探索。
Preparation of nickel film by microwave plasma coating machine. The method is characterized by using pure nickel as a target, generating plasma with microwaves, and using AC power as a bombardment power source for remote transport. The films deposited by microwave plasma method were characterized by XRD, SEM and EDS. The experimental results were analyzed and the coating process was preliminarily explored.
其他文献
目的构建职业性粉尘接触的危害风险评估指标体系。方法通过专家咨询和查阅文献资料初步筛选评价指标,运用德尔菲（Delphi）法进行两轮专家问卷调查,确立评估指标体系,采用专家调
作为一种新型的微通道相变换热技术,毛细微槽群蒸发热沉由于能依靠毛细力驱动液体流动,并易于在微槽内三相接触线区域促进扩展弯月面薄液膜的形成,创造高强度的蒸发换热条件,
神经外科的发展历史就是一个不断追求微创的过程。微创神经外科狭义的理解，更多侧重于微创技术手段的应用；而广义的理解，则是指微创理念。微创神经外科取得了很大的成就，但还有许
厂务的气体、化学(包括CMP研磨液系统)和纯水系统为整条生产线提供气体、化学品和纯水,它们与芯片直接接触,所以被称为制程相关系统。制程相关系统的稳定与否直接关系生产线
目的探讨阴道残端悬吊对预防腹腔镜阴式子宫全切术后阴道脱垂的影响。方法选取我院2005年7月至2010年3月收治35例行腹腔镜全子宫切除术患者的临床资料,随即分为观察组(18例)
瓜蒌是一种重要的中药材资源,经济效益是种植水稻的3-7倍以上,是安庆地区发展一村一品工程的主导农产品之一。近几年在当地政府大力支持,瓜蒌种植面积大幅度扩张,已成为安庆
从货币发展的历史来看,货币的发展过程是随着科学技术的发展和社会制度的变迁而不断发展变化的,这一过程也是货币形态不断从“实”向“虚”转变的过程,技术含量从“低”到“
随着计算机技术的飞速发展,数字音频在消费电子、网络、广播、移动通信和数字影视等领域都有着广泛应用。互联网与无线通信协议的结合,移动终端的应用日益普及,使对更高效编
自组装是大自然创造的有力工具。简单的分子或大分子单元在非共价相互作用下自组装,构建起了复杂的功能结构、器官、系统和材料等。组织精巧的超分子组装结构使得复杂功能在
采用单因素法和响应曲面法优化热水提取法提取血耳总糖的工艺条件,得到最佳提取条件:液料比124∶1、提取时间120 min和提取温度100℃,其总糖提取率可达到35.347%±0.551%。利