多晶硅副产物四氯化硅综合利用与研究现状

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本文综述了多晶硅副产物四氯化硅综合利用的处理方法和应用研究现状。详细介绍了四氯化硅的特性,和以其为原料生产白炭黑、硅酸乙酯、光纤和三氯氢硅的工艺技术和制备原理,分析这些产品的经济社会效益,并对多晶硅产业的发展提出建议。
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