【摘 要】
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现今,半导体大规模集成电路的新材料和新工艺能够在300mm直径的硅圆片上加工0.1 5m的线宽,这两个数字相差2×106倍.采用光学检验手段显然无能为力,检测能力只达到80%的表
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现今,半导体大规模集成电路的新材料和新工艺能够在300mm直径的硅圆片上加工0.1 5m的线宽,这两个数字相差2×106倍.采用光学检验手段显然无能为力,检测能力只达到80%的表面故障,进一步改进采用紫外光源,检测能力有所提高,但仍然不能发现对成品率有致命性影响的故障,如接触开路、贯通孔开路、栅极短路等由于几何尺寸缩小带来的新问题.这些损伤会在在线测试中被遗漏,直至终测时才发现问题所在,带来后果不堪设想,延误上市时间可能达数周.
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螺杆菌尤其是幽门螺杆菌(Hp)引起慢性肝病的报道逐渐增多,受到广大学者们的重视与关注.螺杆菌与肝病的相关性是慢性肝病病因与临床研究的新课题,全面开展这一领域的研究对提高肝病的诊治水平将会有重大的现实意义[1]。
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