LD3—200/1000型辉光离子氮化炉的改造

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总结了辉光离子氮化炉应具备的技术条件,并对原有LD3-200/1000型辉光离子炉进行分析,找出存在的问题,对阴极托柱、间隙保护、密封部分、抽供气系统、电器等部分提出改造方案。
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